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空氣分離在電子特氣制造中的應用

空氣分離在電子特氣制造中的應用
空氣分離在電子特氣制造中起著關鍵作用。電子特氣對純度等要求極高，空氣分離技術可有效獲取其原料。通過低溫精餾等方法，將空氣中的氮氣、氧氣等分離提純。氮氣常用于電子器件制造中的保護氣氛，防止氧化；氧氣在部分工藝中作為氧化劑參與反應。此外，空氣分離還可獲得稀有氣體，如氬氣用于半導體制造的濺射等環(huán)節(jié)，氦氣用于冷卻等?？諝夥蛛x為電子特氣制造提供了高純度基礎氣體，保障了電子特氣的質量，助力電子產業(yè)發(fā)展。
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精餾是利用兩種物質不同的沸點，多次地進行混合蒸汽的部分冷凝和混合液體的部分蒸發(fā)，以達到氣體分離。 對兩種不同沸點的物質組成的混合液體，在吸收熱量部分蒸發(fā)時，易揮發(fā)組分較多地蒸發(fā)，而混合蒸汽在放出熱量而部分冷凝時，難揮發(fā)組分將較多地冷凝，如果將溫度較高的飽和蒸汽與溫度較低的飽和液體進行混合接觸，蒸汽
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